Graphen- und CNT-Spitzenforschung an der DTU Danchip mit AIXTRON PECVD-Anlage
Aachen, 9. November 2010 – DTU Danchip und DTU Nanotech, zwei Institute der Technischen Universität Lyngby in Dänemark, haben im zweiten Quartal 2010 eine 4-Zoll Black Magic PECVD*-Anlage von AIXTRON erworben. Die Auslieferung ist für das laufende Quartal vorgesehen.
Mit der neuen Anlage wird das Institut Graphen und Kohlenstoffnanoröhren für zahlreiche Anwendungen wie Zell-Interfaces für Mikrochips, Lab-on-Chip-Filtersysteme sowie andere Mikrofluidik-Komponenten, Wandler und Elektroden herstellen. Forscherteams aus Physik, Chemie, Lab-on-Chip-Technologie sowie der Biowissenschaft werden an der neuen Anlage arbeiten.
Professor Peter Bøggild von der DTU Nanotech erforscht Kohlenstoffnanoröhren seit vielen Jahren: „Wir benötigten eine schlüsselfertige Lösung, mit der wir Graphen und Kohlenstoffnanoröhren herstellen können. Unsere Analyse zeigte, dass die hochentwickelte Technologie der Black Magic in der Serienproduktion homogene Strukturen mit guter Reproduzierbarkeit liefert. Da praktische Anwendungen für uns im Vordergrund stehen, haben Reproduzierbarkeit, Zuverlässigkeit, Skalierbarkeit und Materialqualität höchste Priorität.“ Man sei sicher, so Bøggild weiter, dass die hohen Erwartungen erfüllt werden und stütze sich dabei gleichermaßen auf die Empfehlungen etablierter Wissenschaftler wie auf eigene Erfahrungswerte. Eine Vielzahl an Anwendern habe Interesse bekundet, die neue Anlage zu nutzen.
Peter Bøggild erwarb seinen Doktortitel in Physik 1998 an der Universität Kopenhagen und leitet heute die Forschungsgruppe für Nanointegration an der DTU. Für seine Pionierarbeit zu „Nanopinzette“ und Nanoaktuatoren erhielt er 2009 die renommierte Auszeichnung `AEG Elektronprisen´.
Danchip verfügt über einen Reinraum mit modernstem Prozessequipment für Lithografie, Plasmaätzen, thermische Verfahrenstechnik, Dünnfilmabscheidung, Packaging und Charakterisierung. Räumlichkeiten und Dienstleistungen werden von Kunden und Partnern akademischer Institute sowie kleine, mittlere und größere Unternehmen für die Fertigung von Mikro- und Nanobauteilen genutzt. Mit der Black Magic wird die DTU Graphen und Kohlenstoffnanoröhren in bestehende Technologien integrieren und ihre Vewendung in praktischen Anwendungsfeldern vorantreiben.
Die DTU Danchip ist Dänemarks nationales Institut für Mikro- und Nanotechnologie und gehört zur Technischen Universität Dänemark. Das Institut wurde erst kürzlich nach DS / EN ISO 9001:2008 Standard zertifiziert, nachdem ein Audit der norwegischen Veritas erfolgreich abgeschlossen wurde.
*PECVD, Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition = plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung |