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Miniaturisierung von Stromversorgungen: AIXTRON liefert Schlüssel-MOCVD-Technologie an NexGen Power Systems
Das Unternehmen konzentriert sich auf vertikale Transistoren für kleine, effiziente GaN1-auf-GaN-Energieumwandlungssysteme für verschiedene Anwendungen
Herzogenrath / Deutschland, 19. Juli 2018 - AIXTRON SE (FSE: AIXA), ein weltweit führender Anbieter von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie, wird NexGen Power Systems Inc. High-End-MOCVD-Technologie für die Weiterentwicklung von GaN-basierten Produkten zur Verfügung stellen elektronische Geräte, die kompaktere, leichtere und kosteneffizientere Energieumwandlungssysteme ermöglichen. Zu diesem Zweck hat NexGen AIXTRONs AIX G5 HT-Planetenplattform bestellt, deren Auslieferung für das 3. Quartal 2018 geplant ist.
Unter Berücksichtigung von Ertrag und Betriebskosten ist die AIX G5 HT-Plattform das Werkzeug für alle fortgeschrittenen GaN-Anwendungen. Als einziges MOCVD-System auf dem Markt, das eine Wafer-Level-Kontrolle beinhaltet, ist der AIX G5 das effizienteste Werkzeug für die Epitaxie von GaN-auf-GaN, GaN-auf-Si2 und GaN-auf-SiC3, die für Leistungselektronik- und HF-Anwendungen verwendet werden. Das vollautomatische Werkzeug bietet In-Situ-Reinigung für beste Prozessrobustheit und Fehlerkontrolle, während es auch mit dem neuesten Laytec InSide P400 UV-Pyrometer zur berührungslosen Temperaturmessung ausgestattet ist. In Verbindung mit AIXTRONs automatischer Feed-Forward (AFF) individueller On-Wafer-Temperaturregelung ermöglicht dies eine Anpassung aller epitaktischen Wafer - sowohl innerhalb eines Laufs als auch von Lauf zu Lauf.
Dinesh Ramanathan, CEO von NexGen Power Systems, sagt: "Unsere disruptive True GaN ™ VJFET4-Technologie ist in der Lage, Silizium-, Siliziumkarbid- oder GaN-auf-Silizium-Technologie zu übertreffen, indem sie höhere Durchbruchsspannung, niedrigeren On-Widerstand und höhere Schalthäufigkeit bietet. NexGens True GaNTM-Leistungsgeräte ermöglichen die Entwicklung kompakter Stromrichtersysteme und steigern ihre Effizienz bei Anwendungen in Rechenzentrums-Stromversorgungen, Motortreibern, Solar-Wechselrichtern und Elektroauto-Antriebssträngen. Die planetarische Technologie von AIXTRON in Kombination mit dem Batch-Reaktor-Konzept bietet uns sowohl die Leistungskontrolle, die wir benötigen, als auch die Kosteneffizienz, um eine schnelle Einführung unserer bahnbrechenden Leistungsgeräte sicherzustellen. "
"Wir freuen uns darauf, NexGens Bemühungen zu unterstützen, bestehende Stromrichtersysteme zu revolutionieren. Unsere AIX G5 HT-Planetenwerkzeuge haben sich in den letzten Jahren einen soliden Ruf als präzise, zuverlässige und kosteneffiziente Fertigungsausrüstung in der Halbleiterindustrie erarbeitet - eine schnellere Einführung von GaN-Bauelementen gegen ihre Siliziumäquivalente ", kommentiert Dr. Felix Grawert, Präsident der AIXTRON SE.
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