Tyndall Institute: GaN-Forschung mit AIXTRON MOCVD Anlage
Aachen, 10. Mai 2010 – Das Tyndall National Institute am University College in Cork (UCC), Irland hat im vierten Quartal 2009 eine AIXTRON Close Coupled Showerhead-Anlage bestellt. Die 3x2-Zoll MOCVD1-Anlage wird im ersten Halbjahr 2010 ausgeliefert.
Das Projekt wird strategisch von der Science Foundation Ireland (SFI) gefördert. „Hohe Leistungsfähigkeit und Engineering-Kompetenz sind wir von unseren vorhandenen AIXTRON Anlagen gewohnt", erklärt Professor Peter Parbrock, der die GaN-Forschungsaktivitäten am Institut leitet. „Für die Auswahl der neuen Showerhead-Anlage waren zahlreiche Gründe ausschlaggebend: etwa die flexible Reaktorkammerkonfiguration mit einstellbarer Reaktorhöhe sowie die Möglichkeit, verschiedene Substratgrößen einzusetzen, um diese für unterschiedliche Forschungsprojekte zu nutzen. Die Anlage ist zudem ein Garant für sehr gute Homogenität. Und schließlich können wir mit dem neuen ARGUS Pyrometersystem präzise In-Situ-Temperaturmessungen vornehmen und den Prozess exakt steuern.“ Mit dem Neuerwerb wird das Institut seine Expertise in der Theorie des photonischen Materials auf Galliumnitridbasis sowie bei der Herstellung GaN-basierender Bauelemente vertiefen.
Nach der Installation durch das lokale AIXTRON Serviceteam wird Tyndall im Bereich modernster GaN/(Al, Ga, In)N-basierter Materialien zur Herstellung opto- und mikroelektronischer Bauelemente forschen – und zwar insbesondere zum Wachstum von AlGaN-Strukturen bei hohen Temperaturen.
Das Tyndall National Institute am UCC ist ein führendes europäisches Forschungszentrum, das mit einer beachtlichen Personalstärke von über 370 Forschern, Ingenieuren, Studenten und Servicemitarbeitern hoch qualifizierte Forschung betreibt. Kernkompetenzen liegen in den Bereichen der ICT2-Hardwareforschung, der Kommerzialisierung neuer Technologien in Zusammenarbeit mit der Industrie sowie in der Ausbildung zukünftiger Forschergenerationen. Erklärtes Ziel ist es, technologisch anspruchsvolle Lösungen für die Schlüsselmärkte Kommunikation, Energie, Gesundheitswesen und Umwelt bereitzustellen, indem Ergebnisse aus der Forschung im atomaren Maßstab auf Photonik-, Mikro- und Mikronanoelektronik-Systeme übertragen werden. Tyndalls Forschung beruht auf fundierter Expertise in Theorie, Modellierung und Design sowie auf einer CMOS-3, III-V-4 und MEMS5-Waferproduktion.
1 MOCVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition =
Metall-organische Gasphasenabscheidung
2 ICT, Information Communication Technologies =
Informations- und Kommunikationstechnologien
3 CMOS, Complementary Metal Oxide Semiconductor =
komplementärer Metall-Oxid-Halbleiter
4 III-V-Materialien = Materialien der 3. und 5. Gruppe des Periodensystems
5 MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems = Mikro-Elektro-Mechanische Systeme
Der Begriff Closed Coupled Showerhead® ist ein eingetragenes Warenzeichen. |
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